10.3969/j.issn.1672-9374.2005.01.007
光刻膜片在膜片阀中的应用
介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点,论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理,介绍了光刻膜片在膜片阀中的应用情况,经爆破试验和发动机热试车表明:膜片阀设计合理,膜片光刻工艺可行.
膜片阀、光刻
31
V432(推进系统(发动机、推进器))
2005-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
33-34
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10.3969/j.issn.1672-9374.2005.01.007
膜片阀、光刻
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V432(推进系统(发动机、推进器))
2005-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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