基体温度对钛膜表面形貌和力学性能的影响研究

摘要：

应用电阻蒸发镀膜方法在钼基体表面沉积钛膜.采用X射线衍射仪(X-ray Diffraction,XRD)对钛膜的物相进行表征,获得钛膜的择优取向;采用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)和原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)对钛膜的表面形貌进行表征,获得钛膜的晶粒尺寸分布情况及表面粗糙度;采用AFM纳米压痕技术对钛膜的力学性能进行表征,获得钛膜的弹性模量.结果表明:基体温度对钛膜的微观结构及力学性能有重要影响,在600～750℃范围内,随着基体温度的升高,钛膜晶粒取向的主要影响因素由应变能变为表面能,钛膜的择优取向由(101)变为(002);基体温度的升高增强了基体表面钛原子的扩散能力,钛膜的平均晶粒尺寸、粗糙度及弹性模量均随基体温度的升高而增大.

关键词：基体温度、钛、择优取向、晶粒尺寸、纳米压痕

所属期刊栏目：46

分类号：TG115(金属学与热处理)

在线出版日期：2023-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：8-14