大功率射频离子源驱动器等效阻抗特性分析

摘要：

离子源是中性束注入系统的核心部件之一,射频离子源具备稳态运行的能力,成为未来中性束用离子源的主要备选源.在射频离子源中,阻抗匹配的合理设计和有效调谐是实现高功率稳定等离子体放电的核心,而驱动器的等效阻抗决定了阻抗匹配网络的设计,故对其特性的分析是必不可少的.基于射频等离子体变压器模型建立了射频离子源驱动器等效阻抗计算的解析模型,通过计算获得了驱动器等效阻抗随等离子体电子密度的变化特性,为阻抗匹配网络的合理设计及阻抗匹配调谐提供了参考.该模型能够较为快速准确地计算得出不同气压下驱动器内的电子温度,得出的不同气压和电子密度下的等效阻抗变化特性也与同类射频离子源的计算结果相符合.

关键词：中性束注入系统;感性耦合等离子体;变压器模型;射频离子源等效模型

所属期刊栏目：44

分类号：TL62(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家自然科学基金;聚变堆主机关键系统综合研究设施项目;衡阳市科技计划项目

在线出版日期：2021-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：91-96