同步辐射用Au-Pt多层薄膜反射镜

摘要：

同步辐射广泛使用Au薄膜作为反射镜膜层,降低Au薄膜的粗糙度以减小散射信号仍是难点.基于国内外对Au薄膜的研究,本文采用在Au薄膜中插入Pt间隔层的方法,制备了新型Au-Pt薄膜.原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)测试结果表明:采用1 nm厚的Au膜层和1 nm厚的Pt间隔层交替制备的方法所获得的新型Au-Pt薄膜,粗糙度小于0.3 nm,明显小于传统Au薄膜的粗糙度;通过X射线衍射(X-ray Diffractometer,XRD)测试可以发现,Pt间隔层的插入能够有效抑制Au膜结晶.随着Pt间隔层插入间隔的减小,Au膜结晶程度显著降低.根据AFM测试结果,使用IMD软件计算了传统Au薄膜以及新型Au-Pt薄膜的反射率,发现新型Au-Pt薄膜反射率比传统Au薄膜略有提高,同时新型Au-Pt薄膜的表面粗糙度更小,降低了散射强度,提升了反射镜的实际性能.本文为用于同步辐射的高传输效率、高反射率的Au-Pt薄膜反射镜的制备提供了参考.

关键词：同步辐射、磁控溅射、Au-Pt薄膜、表面粗糙度、反射率

所属期刊栏目：42

分类号：O434;TL99(光学)

资助基金：国家重点科研项目2016YFA0401304;国家自然科学基金No.61621001资助 Supported by National Key R&D Program of China2016YFA0401304;National Natural Science Foundation of China61621001

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5