BPSG膜双极晶体管的抗电离辐照性能研究

摘要：

对SiO2+BPSG+SiO2钝化结构和SiO2+SiN钝化结构的双极晶体管和JW117集成稳压器进行了60Co的γ辐照和不同温度下退火行为研究.结果表明,覆盖BPSG钝化膜的器件抗辐照性能明显强于SiN钝化膜的器件.BPSG对Na+具有很好的吸收作用,SiO2层中的Na+很大部分被吸收到BPSG膜中,降低了双极晶体管基区的表面复合速率,减少过剩基极电流,这可能是BPSG钝化膜器件抗辐照性能好的主要原因.通过对器件辐照后不同温度下的退火实验,保证了BPSG钝化膜器件辐照后的工作可靠性.

关键词：BPSG、钝化层、电离辐照、退火

所属期刊栏目：36

分类号：TL72(辐射防护)

在线出版日期：2015-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23