氧化层厚度对NPN双极管辐射损伤的影响

摘要：

研究了不同氧化层厚度的两种国产NPN双极晶体管在高低剂量率下的辐射效应和退火特性.结果显示,随总剂量的增加,晶体管基极电流增大,电流增益下降,且薄氧化层的晶体管比常规厚氧化层的晶体管退化更严重.另外,两种NPN晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应.本文对各种实验现象的损伤机理进行了分析.

关键词：NPN双极晶体管、60Coγ辐照、氧化层厚度、剂量率效应

所属期刊栏目：35

分类号：TN322+.8(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目10975182

在线出版日期：2015-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：104-108