中子深度分析的能量展宽修正

摘要：

离子在样品内的能量岐离将改变中子深度分析(neutron depth profiling,NDP)的多道离子能谱分布.基于SRIM程序,分析了10B(n,α)7Li反应产生的四种离子穿过硅材料后的能最离散情况,获得了四种离子的能谱分布拟合函数,为中子深度分析技术提供了能量GAUSS展宽的数学模型.

关键词：能量岐离、中子深度分析、SRIM程序、拟合函数

所属期刊栏目：34

分类号：TL99

资助基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金2010B0103009

在线出版日期：2015-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：689-692