碳剥离膜结构的研究

摘要：

碳剥离膜可用交流电弧法或直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜.不同制备方法的碳剥离膜有不同的寿命,表明不同制备方法的碳膜有着不同的微观结构.本文对不同制备方法的碳剥离膜的微观结构做了SEM/TEM照片测试,分析了碳剥离膜结构对碳剥离膜寿命的影响.

关键词：碳剥离膜、SEM/TEM、交流、直流电弧法

所属期刊栏目：31

分类号：O571.1;TB43(原子核物理学、高能物理学)

资助基金：2005年中国科学院近代物理研究所所长基金

在线出版日期：2008-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：689-691