碳化硅表面锌的吸附及其热氧化的同步辐射光电子能谱研究

摘要：

利用同步辐射光电子能谱(Synchrotron radiation photoelectron spectroscopy,SRPES)和X射线光电子能谱(X-rayphotoelectron spectroscopy,XPS)技术,研究了金属Zn在6H-SiC表面的吸附和热氧化以及ZnO/SiC的界面形成过程.研究结果表明,在SiC表面沉积金属Zn的初始阶段,Zn可以夺取SiC衬底表面残留的氧并与之成键.随着Zn覆盖度的增加,表面具有金属特性.在2.0×10-4Pa的氧气氛中180℃温度退火下,覆盖的Zn会被部分氧化形成ZnO,还有部分Zn因其在真空中的低蒸发温度而逸出表面.在同样的氧气氛中600℃温度退火后,覆盖的金属Zn全部被氧化而生成ZnO.在氧气氛中退火时,衬底也会轻度氧化,从而导致在ZnO/SiC界面处存在一层很薄的Si的氧化层.根据得到的光电子能谱的实验结果,计算出ZnO/SiC异质结的价带偏移为1.1 eV.

关键词：碳化硅、锌、氧化锌、热氧化、光电子能谱、同步辐射

所属期刊栏目：29

分类号：O4(物理学)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20030358054;国家自然科学基金50532070

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：725-729