强脉冲离子束辐照混合的RBS研究

摘要：

采用卢瑟福背散射(Rutherford backscattering spectroscopy,RBS)方法对强脉冲离子束辐照Ti/Al、Al/Ti和Ni/Ti三组薄膜/衬底体系所形成的混合层进行了研究.在Ni/Ti组合中形成了厚度比离子射程大得多的、混合度较高的梯度混合层.发现熔融态混合的程度不仅取决于两材料在熔融态的表面张力的差别,而且取决于它们熔点的差异.这两个参量较接近的混合程度较好.

关键词：强脉冲离子束、离子束混合、卢瑟福背散射

所属期刊栏目：29

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院资助项目19975003;10175003

在线出版日期：2006-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：125-128