离子源研究中的光谱诊断

摘要：

在离子源研究中,光谱分析作为一种重要的实验手段具有不可替代的优越性和便利性.作为一种非接触式的等离子体诊断手段,光谱分析可以在不影响离子源放电工作状态的前提下,对离子源放电等离子体的有关参数迅速作出测量和判断.本文列举了光谱诊断方法在离子源研究中的几种典型应用.

关键词：离子源、等离子体、光谱诊断

所属期刊栏目：29

分类号：O461;TL8(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国防科研项目

在线出版日期：2006-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：108-111