载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构

摘要：

用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布.用红外吸收实验检测了该实样的光学特性.实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在10%左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料.

关键词：氮团簇注入、硅单晶、纳米晶结构、红外吸收谱

所属期刊栏目：28

分类号：O764;O484(晶体结构)

资助基金：国家自然科学基金10175041,10375040

在线出版日期：2005-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：333-336