可变包含角单色器的双轴平行度误差分析和测试

摘要：

估算了可变包含角单色器的两个旋转轴之间的不平行度对波长的调整精度和分辨率的影响,以及采用平行光管测量两个旋转轴的不平行度大小和调整的方法.

关键词：变包含角单色器、误差分析、平行光管、平行度测量

所属期刊栏目：26

分类号：O471.5(半导体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：416-419