氮离子注入铝的结构研究

摘要：

采用掠射X射线衍射和AES方法分析了氮离子注入铝的结构和成分,采用TRIM'98程序对注入过程中氮浓度随深度的分布进行了模拟.结果表明:当温度低于300℃,能量为60 keV,用7×1017/cm2和1×1018/cm2注量的氮离子注入铝时,在铝的表面生成了六方结构的A1N而不是立方结构的AlN;同时碰撞扩散作用在氮离子注入过程中居主导地位,热扩散作用和辐照增强扩散作用均不明显.

关键词：氮、离子注入、铝、微观结构

所属期刊栏目：26

分类号：O614.31;O613.61(无机化学)

资助基金：中国工程物理研究院科技基金20020868

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：295-298