磁过滤等离子体沉积和注入技术

摘要：

利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术.利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用.本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用,以及磁过滤等离子体沉积和注入装置及其应用.

关键词：磁过滤器、等离子体沉积、阴极真空弧技术

所属期刊栏目：25

分类号：TL657(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：695-698