用于材料表面强化处理的第三代多功能PⅢ装置

摘要：

第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能, 同时也具有强的金属离子注入功能;它的脉冲高压电源能输出大的电流;并可获得高的注入剂量均匀性.该装置既能执行离子注入,又能把离子注入与溅射沉积,镀膜结合在一起,形成多种综合性表面改性工艺.本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果.

关键词：等离子体浸没离子注入、材料表面改性、强流脉冲阴极弧金属等离子体源、金属等离子体浸没离子注入与沉积

所属期刊栏目：25

分类号：TG172.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：690-694