软X射线波段多层膜-多层膜光栅单色器

摘要：

从多层膜和多层膜光栅的衍射特性出发,得到了适用于软X射线波段的组合式多层膜-多层膜光栅单色器的工作原理和色散性质.如果多层膜和多层膜光栅的反射面之间保持适当的夹角,该夹角取决于多层膜的周期和光栅的周期之比,则由单色器出射的光束仍保持与入射光束平行,且有很好的色散及最大的光强输出.

关键词：软X射线、多层膜、多层膜光栅、单色器

所属期刊栏目：24

分类号：O434.1;O484.4+1;TH744.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金19574044;中-日合作项目j9821;中国科技大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：541-546