10.3321/j.issn:0253-3219.1999.01.004
微波离子源聚焦离子束光学系统的研究
设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了该光学系统的束径,并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法.测试结果表明,在束能为25keV时,束流为148nA,束径约为20μm左右.
聚焦离子束、微波离子源、束径
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O4(物理学)
国家科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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