化学机械研磨废水处理及回用技术的研究进展

摘要：

化学机械研磨废水产生量大但总体污染物浓度不高,回用潜力巨大,其处理及回用技术是芯片制造企业的研究重点.文章介绍了化学机械研磨废水来源、水质特征,概述并对比分析了常用的化学机械研磨废水处理和回用技术及其应用现状和发展趋势,并指出以膜滤或电化学处理为主的处理及回用技术具有良好的运用前景.

关键词：芯片制造、化学机械研磨废水、处理、回用

所属期刊栏目：35

分类号：X703(一般性问题)

资助基金：水利部“节水型社会建设”项目水综节水[2010]42号;农村分散型污水处理关键设备研制与示范项目2009BAC57B01

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：127-131