10.16568/j.0254-6086.202201012
LEAD螺旋波射频等离子体电子能量分布函数的测量
通过电压扫描探针测量了LEAD装置螺旋波射频等离子体伏安特性曲线和电子能量分布函数,并对等离子体基本参数剖面如电子温度、密度、等离子体电位和鞘电位降系数等进行了计算.实验发现在LEAD装置半径5cm以内的位置电子能量分布函数都遵循麦克斯韦分布.而在半径7cm附近,即与射频源线圈处于相同径向位置,电子能量呈现出典型的双麦克斯韦分布特征,这将导致传统探针基于麦克斯韦分布假设的诊断结果需要修正.
螺旋波射频等离子体;电子能量分布函数;电压扫描探针;线性装置
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O536(等离子体物理学)
国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家重点研发计划
2022-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
71-76