大气压脉冲调制射频氩气放电等离子体特性的数值研究

摘要：

基于等离子体流体理论,建立了大气压脉冲调制射频氩气放电的一维流体模型.通过数值模拟的方法研究了放电参数(放电电极间距、射频频率)对氩等离子体特性的影响.研究结果表明:当电压固定时,随着电极间距的增加,等离子体区逐渐增大,最大电子密度也增加,在0.20cm达到最大值后略有降低;放电电流密度与输入功率密度随着电极间距的增加而增加;鞘层区电子温度随着电极间距的增加而降低;在脉冲开启前期,等离子体区电子温度随着电极间距的增加而增加,但当脉冲开启后期,电极间距对等离子体区电子温度影响较小.不同射频频率下最大电子密度随电极间隙的增加而减小,也具有一个最优值.

关键词：大气压;脉冲调制;氩气放电;数值模拟

所属期刊栏目：41

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;辽宁省教育厅科学研究经费项目

在线出版日期：2021-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：591-597