感应耦合等离子体中和枪的电子引出特性研究

摘要：

给出了一种感应耦合等离子体源的设计,用于等离子体中和枪装置.通过实验方法研究等离子体源的电子引出特性,并结合理论分析了等离子体密度随射频功率的变化关系.研究结果表明等离子体源的电子引出特性与放电腔内气压有关联性,E?H模式转换中电子密度的变化与负载的电感值相关.研究成果对等离子体中和枪的发展有重要的参考价值.

关键词：等离子体中和枪、感应耦合等离子体、电子引出特性

所属期刊栏目：41

分类号：O562(分子物理学、原子物理学)

资助基金：国家自然科学基金;广西科技基地与人才专项

在线出版日期：2021-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：187-192