氦氢离子协同注入对锆膜形貌及物相结构的影响

摘要：

采用磁控溅射法制备了Zr-Mo膜,随后在低能静电加速器上分别采用剂量为2.80×1017～1.12×1018ions·cm-2的He+、H+离子辐照Zr-Mo膜,利用光学透镜、扫描电镜、原子力显微镜和X射线衍射研究He+、H+离子协同注入效应对Zr-Mo膜微观结构的影响.实验结果表明:原始Zr-Mo膜表层晶粒清晰可见,尺寸约为200nm;辐照效应可导致Zr-Mo膜表层产生微观损伤区域,在注He+基础上注H+导致Zr-Mo膜出现更为严重的损伤现象;离子注入的表面溅射效应可使膜面晶粒边界逐渐刻蚀退让,导致膜面更加光滑、细致;He+、H+离子协同注入可使Zr-Mo膜晶格发生畸变,注入期间未使Zr-Mo膜发生吸H相变生成氢化物.

关键词：氢化锆、辐照效应、物相结构、表面形貌

所属期刊栏目：40

分类号：TL99

资助基金：国家级大学生创新创业训练计划;西南科技大学大学生创新基金;西南科技大学创新基金精准资助专项

在线出版日期：2020-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：364-371