磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究

摘要：

利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积AgCu合金制备的NSN系列隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难题.通过选择合适的AgCu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜.实验结果为以后大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础.

关键词：磁控溅射、AgCu合金、NSN系列隔热膜、光谱选择性

所属期刊栏目：37

分类号：O539(等离子体物理学)

在线出版日期：2017-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：361-365