石英晶体微天平在HL-2A装置上的应用

摘要：

在HL-2A装置上采用石英晶体微天平(QCM)测量碳元素及其化合物的沉积质量,从测量的数据可知,每次等离子体放电后QCM的沉积量都会有细微变化,每次放电测得的沉积质量约为0.1~10μg.沉积量的变化与沉积物质再腐蚀或者溅射有关.根据一天的测量结果,可以计算得出HL-2A装置偏滤器区域平均每次放电(非H模放电)的沉积厚度约为10nm.

关键词：石英晶体微天平、沉积、HL-2A装置、偏滤器、等离子体与材料的相互作用

所属期刊栏目：37

分类号：TL65+9(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家磁约束核聚变能发展研究专项2015GB106001;四川省科技厅国际合作重点项目2016HH0006

在线出版日期：2017-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：144-151