10.16568/j.0254-6086.201504014
大气压射频氧气放电特性的数值模拟研究
基于漂移扩散近似,对大气压下氧气射频放电产生的等离子体建立了一维流体模型,包括了电子、正离子和负离子的连续性方程、电子能量方程及泊松方程。采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽的数值模拟,得到了相应的数值结果。通过对所得数值结果的分析,研究了大气压下氧气放电的基本特性。研究表明,大气压氧气放电中等离子体密度可达到12310 cm?,电子温度约在1.23eV,放电中主要的负离子是O?离子;随着电压峰值的增加,电子密度、电子温度都增加,但 nO?/ne的比率先增加到7.5%又后减小到5%,在电压峰值为700V时达到最大。
氧气放电、有限差分法、数值模拟
O539(等离子体物理学)
2016-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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368-372