质谱测量与分析系统的性能测试

摘要：

对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa，总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力，以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求，为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。

关键词：极限真空、漏气率、线性关系、动态流导法

分类号：TL62+8(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家磁约束核聚变能研究专项2010GB108002

在线出版日期：2014-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：135-140