10.3969/j.issn.0254-6086.2012.03.016
MPCVD中甲烷等离子体发射光谱研究
在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体,通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱.实验表明,甲烷在等离子体中的裂解产物主要以CH,CH-,C2基团的形式存在.这些基团的发射光谱强度主要受放电压强和放电功率的影响.随着微波功率的增加甲烷基团发射光谱强度呈增长的趋势;而随着放电压强的增加则是先增大,后减小.这些实验结果对于理解微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)中各种反应过程,调整薄膜制备工艺提供了参考.
MPCVD、发射光谱、甲烷等离子体、光谱强度
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O539(等离子体物理学)
2012-12-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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