MPCVD中甲烷等离子体发射光谱研究

摘要：

在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体,通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱.实验表明,甲烷在等离子体中的裂解产物主要以CH,CH-,C2基团的形式存在.这些基团的发射光谱强度主要受放电压强和放电功率的影响.随着微波功率的增加甲烷基团发射光谱强度呈增长的趋势；而随着放电压强的增加则是先增大,后减小.这些实验结果对于理解微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)中各种反应过程,调整薄膜制备工艺提供了参考.

关键词：MPCVD、发射光谱、甲烷等离子体、光谱强度

所属期刊栏目：32

分类号：O539(等离子体物理学)

在线出版日期：2012-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：278-282