N2空心阴极放电向微空心阴极放电转变的PIC/MC模拟

摘要：

开发了氮空心阴极放电PIC/MC二维自洽模型.研究了N2传统空心阴极向微空心阴极放电转变过程中电势和电场的变化.结果表明,不同尺寸的空心阴极放电的电势及电场分布规律几乎类似,但空心阴极孔径减小且气压增加时,电场近似线性增加;典型微空心阴极电场比传统空心阴极放电电场约大3个量级;微空心阴极放电产生的电子,氮分子离子和氮原子离子的密度比传统空心阴极放电约大3个量级,且微空心阴极放电中,N2+密度比N+密度大8倍以上.

关键词：氮气等离子体、微空心阴极放电、粒子模拟、蒙特卡罗模型

所属期刊栏目：30

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：河北省自然科学基金资助项目A2006000123

在线出版日期：2010-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：131-137