内表面沉积的类金刚石薄膜的喇曼光谱表征

摘要：

在工作气体采用氩气和甲烷混合气体(4:1)的直流辉光放电中,在工作气压分别为10、20、30和40Pa以及沉积时间分别为10、20和30min下利用等离子体化学气相沉积法在内径10mm长100mm的304不锈钢管内表面制备了类金刚石薄膜,并利用喇曼光谱研究了沉积的工作气压和时间对薄膜微观结构的影响.通过对喇曼谱图进行定量解析发现:随着压强的增加,D峰、G峰位置、两峰峰宽以及其强度比值ID/IG都呈先减小后增大趋势,20Pa时达到最低点;随着沉积时间的增加,D峰、G峰位置向低波数端减小,半峰宽减小;D峰、G峰的强度比ID/IG减小.定量解析的结果表明,随沉积时间的增加,DLC薄膜中的sp3含量会增多,结构会相对更有序,薄膜中石墨团簇的尺寸会更大.

关键词：直流辉光等离子体、类金刚石膜、喇曼光谱、工作气压、沉积时间

所属期刊栏目：29

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50307002

在线出版日期：2009-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：82-86