微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用

摘要：

介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用.分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素.结果表明,选用较长的探针有利于提高电子密度的测量范围和精度;选用的微波扫频源高端频率越高,频率分辨率越高,则电子密度的测量范围越大,测量精度越高.理论分析得出系统可测量的电子密度约为1.37×10<'8>～4.1×10<'11>cm<'-3>.

关键词：等离子体诊断、微波共振探针、等离子体密度

所属期刊栏目：28

分类号：O539;TL65(等离子体物理学)

资助基金：新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-06-0935

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：270-273