平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式

摘要：

采用流体动力学模型研究了离子与中性粒子的电荷交换碰撞效应对直流偏压鞘层厚度的影响.对于平板鞘层,结果表明随着碰撞参数的增大,鞘层厚度明显地变小.根据数值结果,给出了碰撞情况下的Child-Lang-muir定律的拟合式.研究了柱形和球形靶的靶半径对鞘层厚度的影响.

关键词：鞘层、Child-langmuir定律、碰撞效应

所属期刊栏目：26

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目10376003

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：71-74