线性阳极层离子源磁路设计与电磁场数值模拟

摘要：

介绍了一种广泛应用于离子刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜的阳极层离子源的工作原理,分析了磁场对其性能的影响.给出了线性阳极层离子源磁路的设计.采用ANSYS有限元分析软件对线性阳极层离子源的静态电磁场进行了模拟分析,并与实验结果进行了比较,结果令人满意.通过ANSYS编码对电磁场模拟,可为具体的阳极层离子源的改进设计提供指导.

关键词：阳极层离子源、等离子体预清洗、离子束辅助沉积、电磁场、数值模拟

所属期刊栏目：26

分类号：O539(等离子体物理学)

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58