10.3969/j.issn.0254-6086.2005.03.015
大型真空装置漏放率的动态质谱测量法
根据质谱分析技术和气体动力学方程,提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法.结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测,并成功地应用于HL-1M装置.
质谱分析、漏放率、检测
25
TN107(真空电子技术)
2005-10-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
233-236
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10.3969/j.issn.0254-6086.2005.03.015
质谱分析、漏放率、检测
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TN107(真空电子技术)
2005-10-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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