氩直流辉光放电等离子体中电子运动及能量的模拟

摘要：

采用自动调节时间步长的蒙特卡罗模拟,对平行板放电系统中的氩气直流辉光放电系统中的等离子体区内电子的运动过程进行了跟踪和抽样.统计结果表明:在我们的实验条件下,等离子体中的电子在电场作用下出现明显的轴向漂移;在40000次抽样中,出现能量为E的电子数目随能量E增大呈下降趋势,场强增大将引起能量分布展宽和电子平均能量增加;即使场强达到15V·cm-1,等离子体激发和电离仍是很少的;场强和气压都能明显改变电子的平均自由程.

关键词：等离子体、辉光放电、电子能量、蒙特卡罗模拟

所属期刊栏目：24

分类号：O461.1;O461.2+1(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000028200

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：236-240