射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量

摘要：

利用双探针对ECR-PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量.同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR-PECVD等离子体参数的影响.结果表明,在ECR-PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响,而等离子体密度主要由微波功率所决定.

关键词：ECR-PECVD、射频偏置、双探针、电子温度、等离子体密度

所属期刊栏目：24

分类号：O536(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19835030

在线出版日期：2004-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66