10.3969/j.issn.0254-6086.2002.04.010
脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究
通过测量脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积系统中的基片台悬浮电位,发现了弧源接地方式对基片台悬浮电位与等离子体电位影响很大.当阳极接地时基片台悬浮电位可达-60V,而弧源悬浮时却只有-5V.因此,要获得相似沉积条件的沉积薄膜,弧源接地方式不同,给基片施加偏压也应有所不同.
阴极弧、基片台悬浮电位、等离子体电位、复合探针、基片偏压
22
O461.2+.2;O536(真空电子学(电子物理学))
2004-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
243-248