基于遗传算法改进的电子束蒸发系统PID控制实现

摘要：

依据电子束蒸发系统的晶振探头采集沉积速率,通过晶振膜厚控制仪的输出电压控制电子枪灯丝两端电压,从而调整电子束的输出功率.根据沉积速率的变化,采用遗传算法中的PID闭环反馈控制改变灯丝电压,达到稳定沉积速率的目的.实验证明,利用该方法研究其在电子束蒸发过程中速率控制的算法进行蒸发,可以使实验用镀膜生产使用的SiO2膜料表面保持一定平整度,并且得到较稳定的蒸发速率.其他镀膜系统以及不同镀膜膜料可依据该算法适当修改参数,即可改善沉积速率的控制效果.

关键词：遗传算法、PID、电子束蒸发系统

所属期刊栏目：27

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：安徽省教育厅高校自然科学研究项目KJ2015A385

在线出版日期：2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37