基于多弧离子镀的靶材成分对膜层的影响

摘要：

采用多弧离子镀技术,探究靶材成分对膜层性能的影响,从而得到最佳的靶材成分.在同种工艺条件下,得到不同靶材成分时膜层的形貌与性能,分析靶材成分对膜层形貌、膜基结合力及显微硬度的影响.实验结果表明,由于膜层中Ti和Al元素含量的不同,膜层的性能都会发生相应改变,一般是随着Al含量的增加先升高后降低.

关键词：多弧离子镀、靶材成分、膜层性能

所属期刊栏目：26

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：淮海工学院自然科学基金项目Z2014002

在线出版日期：2017-05-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7