10.19817/j.cnki.issn1006-3536.2023.02.031
聚焦离子束在二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜透射电镜截面微观结构表征中的应用
二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜材料的透射电镜截面微观结构表征中,存在薄膜易脱落、脆性大、耐磨性差,以及选区制备难度大、制样效率低、成功率低等问题.采用聚焦离子束技术,成功地进行了二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜的透射电镜截面微观形貌的表征.结果表明,聚焦离子束技术是一种可以有效减少二维多孔薄膜样品制备过程中的损伤,进行高质量进行透射电镜截面微观结构表征的方法.
二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜、聚焦离子束、透射电镜、截面样品、微观结构
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TB34(工程材料学)
国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项
2023-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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