化学气相沉积法制备石墨烯过程的数值模拟研究

摘要：

采用流体力学软件CFD对化学气相沉积法制备石墨烯过程进行数值模拟,分别研究了低压(83Pa)和常压(101325Pa)条件下反应炉内温度、压强、速度分布及石墨烯沉积情况.研究结果表明,常压下反应炉加热区压强分布不均匀,气体流动较为紊乱,容易对反应造成影响,同时由于常压下气流的紊乱使得加热区内温度分布不均匀,不利于石墨烯的表面沉积;相反在低压工况下,加热区内压力、甲烷气体流速、温度分布均匀,从而保证了整个反应的平稳进行.

关键词：化学气相沉积、石墨烯、数值模拟

所属期刊栏目：46

分类号：TP391;TQ022.116;TG155.1

资助基金：陕西省科技攻关计划;陕西铁路工程职业技术学院科学研究项目

在线出版日期：2019-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：178-181