热解温度对离子液体前驱体制备碳基薄膜的影响

摘要：

利用离子液体前驱体热解工艺,选取Al2O3作为基体制备碳基薄膜,对比了不同热解温度条件下所制碳基薄膜的表面形貌、结构特征以及摩擦学性能,探究了离子液体热解法制备碳基薄膜的最佳热解温度.利用X射线衍射分析仪、X射线光电子能谱和扫描电子显微镜对碳基薄膜的结构和表面形貌进行分析,并考察薄膜的摩擦学性能.结果表明:热解温度对薄膜成分和内应力具有较大影响,薄膜成分和内应力则影响薄膜表面形貌和摩擦学性能,最佳热解温度为1000℃.

关键词：碳基薄膜、热处理、离子液体、摩擦学性能

所属期刊栏目：46

分类号：TB333;TQ174.758.1;TG113.2

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;湖南省自然科学基金

在线出版日期：2019-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：165-168