(111)SrTiO3衬底处理调制ZnO薄膜的面内外延关系研究

摘要：

采用脉冲激光法在未处理和水浸泡的(111)SrTiO3(STO)衬底上都生长得到了c轴取向的纤锌矿结构ZnO薄膜.ZnO薄膜与STO衬底之间的外延关系使用X射线进行研究.发现在未处理和水浸泡的(111)SrTiO3衬底的面内排列分别是[1120]ZnO//[110]sTO和[1100]ZnO//[110]STO,它们之间相互旋转30°.ZnO薄膜相对于STO衬底的面内取向强烈依赖于衬底处理.可能是未处理和水浸泡STO衬底终止面的差别导致了外延关系的改变.相比来说,[1100]ZnO//[110]sTO比[1120]ZnO//[110]STO能量更低,这是由于SrO3比Ti终止STO衬底具有更高的成键密度和较低的界面能.

关键词：面内取向、氧化锌、钛酸锶、脉冲激光沉积

所属期刊栏目：44

分类号：O4;TM26;TB383

资助基金：国家自然科学基金;河南省教育厅项目

在线出版日期：2016-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：158-160