溅射功率对PET基表面沉积纳米铜膜特性影响

摘要：

室温条件下采用射频磁控溅射法在涤纶(PET)平纹机织物表面沉积纳米Cu薄膜,借助原子力显微镜(AFM)分析溅射功率的变化对铜膜表面形貌、粒径的影响；同时研究不同溅射功率条件下制备的沉积纳米铜织物透光性能、导电性能及界面结合性能.实验结果表明,随着溅射功率增加,纳米铜膜颗粒大小、表面粗糙度随之减小,铜膜的均匀性、致密性先提高后下降；经Cu镀层处理的涤纶平纹织物对紫外光和可见光透射率明显低于原样,溅射功率提高能使样品屏蔽紫外线和可见光效果变好,但功率提高到120W后,屏蔽效果增加不明显；铜膜方阻随溅射功率提高而减小,导电性能增强,而铜膜与基材的剥离强力先增加后减少.

关键词：射频磁控溅射、纳米铜膜、原子力显微镜、透光性、导电性、界面性能

所属期刊栏目：41

分类号：O48;TN3

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20090093110004

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：112-114