碱溶性光敏丙烯酸树脂的合成及其在光成像体系中的应用

摘要：

首先用自由基溶液聚合法合成羟基丙烯酸酯共聚物PHMSB,通过PHMSB上羟基和偏苯三酸酐(TMA)的酯化反应生成碱溶性树脂PHMSB-T,再用PHMSB-T上羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应,以三步法合成了碱溶性光敏丙烯酸树脂PHMSB-T-G.重点讨论了催化剂种类、催化剂用量、反应温度对第二步反应转化率的影响,用红外光谱(IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、元素分析、差示扫描量热法(DSC)等对所得树脂进行结构表征,初步探索了PHMSB-T-G在光成像体系中的应用.结果表明:以PHMSB-T-G为基体树脂的光致抗蚀剂图像分辨率可以达到25μm.

关键词：光敏丙烯酸树脂、碱溶性、光成像、光致抗蚀剂

所属期刊栏目：38

分类号：TQ6;TQ3

资助基金：国家十一五科技支撑计划2007BAE15B02

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84