10.3969/j.issn.1006-3536.2008.07.014
Parylene C膜的热降解行为
采用微分-积分法和裂解质谱研究了聚氯代对二甲苯(Parylene C膜)的非等温热降解行为.实验结果表明,Parylerie C膜在N2中的热降解符合二级化学反应,其动力学模型方程式为dα/dt=Aexp(-E/RT)(1-α)2,平均表观活化能E=139kJ/mol,在N2中裂解产物主要为芳香烃和芳香醛.
聚氯代对二甲苯膜、非等温动力学、热解反应
36
TQ3;TG1
表面物理与化学国家重点实验基金资助90000460200604
2008-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
36-37,44