溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其性能研究

摘要：

使用溶胶-凝胶法在P型Si(100)衬底上成功地制备了具有c轴择优取向性和高可见光透射率的多晶ZnO薄膜.通过XRD、SEM以及PL光谱等分析,表明:所制备的是结晶良好的ZnO薄膜,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在15～60 nm,颗粒平均直径大约为38nm.由透射谱可知,制备的ZnO薄膜在可见光区域内薄膜的平均透射率在85%以上;由光致发光谱可知,室温下可观察到显著的紫外光发射,说明具有较好的光学性质.

关键词：ZnO薄膜、溶胶-凝胶法、c轴择优取向性、光致发光

所属期刊栏目：35

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2007-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：50-51