sol-gel法制备ZnO·Al薄膜及其特性研究

摘要：

以Zn(OAC)2·2H2O和AlCl3·6H2O为原料,采用溶胶-凝胶的方法在普通玻璃片基材上获得了掺铝的氧化锌透明导电薄膜.采用XRD、SEM、以及分光光度计等分析手段对薄膜进行研究,实验结果表明,当铝离子掺杂量为2%(wt)、预处理温度400℃、退火温度550℃下保温1h,可使所得薄膜的电阻率最低,为5×10-2Ω·cm,薄膜可见光透过率平均达80%以上.

关键词：Al掺杂ZnO薄膜、溶胶凝胶、导电性能、光学性能

所属期刊栏目：34

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2006-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64