超支化聚合物抗蚀剂的感光性能

摘要：

通过凝胶率对曝光能量的变化,研究显影液、光敏剂用量等对超支化聚合物光致抗蚀剂感光性能的影响.结果表明:四甲基氢氧化胺水溶液对超支化聚合物光致抗蚀剂的溶解能力比碳酸钠强,对感光性具有较大的影响;当显影液相同时,随着引发剂的量增大,E0,gel减小,反差γgel在引发剂的用量为6%时,可达到8.13,E0,gel达到5.5mJ/cm2.

关键词：抗蚀剂、超支化聚合物、感光性能

所属期刊栏目：34

分类号：TQ31

资助基金：广东省博士启动基金5011734;广东省教育厅自然科学基金Z03063;广东省湛江市科技攻关项目

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24