氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展

摘要：

氮化硅(Si3N4)具有优异的物化性能,在国防、电子信息等关键领域都占据重要的地位.高质量粉体是制备高性能Si3N4陶瓷的首要前提.通常高质量Si3N4粉体需要满足粒径细、分布窄、α相含量高、杂质含量低等条件.基于合成反应体系综述了当前国内外制备Si3N4粉体的方法,着重从强化传热与传质角度介绍了改善粉体质量的研究进展,并介绍了当前工业生产现状,展望了高质量Si3N4粉体制备技术的发展趋势和方向.

关键词：氮化硅;粉体技术;碳热氮化法;硅粉直接氮化法;化学气相沉积法;硅胺前体转化法;合成机理

所属期刊栏目：73

分类号：TQ174

资助基金：中国科学院青年创新促进会项目;南京绿色制造产业创新研究院重大项目

在线出版日期：2022-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：73-84